BeideVacuümpomp en compressorzijn apparaten voor het verwerken van gas, maar hun werkprincipes en toepassingsbereik zijn verschillend.
De hoofdfunctie van de vacuümpomp is om het gas uit de reactiekamer te verwijderen om de druk in de container te verminderen om een vooraf bepaalde vacuümgraad te behalen. Het gas wordt uit de ruimte geëxtraheerd door het zuig- en uitlaatmechanisme om een vacuümtoestand te vormen. Vacuümpompen worden meestal gebruikt in laboratoria, productie- en productievelden. In wafers fabs, etsapparatuur, depositieapparatuur, EUV -lithografie -apparatuur, ionenimplantatieapparatuur, detectie- en karakterisatieapparatuur, enz. Moeten allemaal worden stofzuigt.
De functie van de compressor is om gas te inhaleren en te comprimeren, de druk van het gas te verhogen, het gas te comprimeren in een kleiner volume en de dichtheid en druk van het gas te verhogen. Het werkingsprincipe is om het gas door de uitlaatklep te comprimeren en vervolgens het gecomprimeerde gas in een gastank of andere apparatuur te plaatsen. Compressoren worden meestal gebruikt in verwerkings- en productievelden. Het CDA -gas waar we het vaak over hebben, wordt geleverd door de compressor. CDA wordt gebruikt om verschillende automatiseringsapparatuur en kleppen te regelen. Voor de productie van halfgeleiders moet CDA erg puur en droog zijn. De luchtuitgang door de compressor moet door een geavanceerd filtratiesysteem gaan om olie, vocht en andere deeltjes te verwijderen om ervoor te zorgen dat er geen besmetting van de wafel is.
Wat zijn de categorieën vanVacuümpomp en compressor?
In halfgeleiderapparatuur worden droge pompen en moleculaire pompen vaak gebruikt. Een droge pomp verwijst naar een vacuümpomp die geen vloeistof gebruikt als afdichtings- of koelmedium, waardoor het probleem van oliedampbesmetting wordt vermeden. Het wordt meestal gebruikt voor de ruwe vacuümwinning van halfgeleiderapparatuur. Moleculaire pompen kunnen extreem hoge vacuümspiegels bereiken. Droge pompen en moleculaire pompen worden vaak gebruikt in combinatie in halfgeleiderapparatuur om te voldoen aan de behoeften van verschillende vacuümspiegels.
Compressoren kunnen worden onderverdeeld in zuiger, schroef, centrifugaal, roterende schoep luchtcompressoren, enz.
Vanwege de verschillende ontwerpen en werkprincipes van vacuümpomp en compressor, kunnen vacuümpompen meestal compressoren niet vervangen. Hoewel vacuümpompen de druk en dichtheid van gassen kunnen verminderen, kunnen ze gassen niet in kleinere volumes en hogere drukken comprimeren. Vanwege de beperkte prestaties en werkkarakteristieken van vacuümpompen zijn ze bovendien het meest geschikt voor het hanteren van gassen met lage dichtheid en lagedrukomgevingen.
Daarom, als gas moet worden gecomprimeerd in een kleiner volume en hogere druk, moet een compressor worden gebruikt. Integendeel, als het gas moet worden geëxtraheerd en een vacuümstatus wordt gevormd, moet een vacuümpomp worden gebruikt.
Hoewel beideVacuümpomp en compressorZijn apparaten die worden gebruikt om gas te verwerken, er zijn grote verschillen in ontwerp- en werkingsprincipe. Hoewel de vacuümpomp de druk en de dichtheid van het gas kan verminderen, kan deze de compressor niet vervangen, vooral wanneer het gas moet worden gecomprimeerd in een kleiner volume en hogere druk.
